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      技術(shù)文章

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      當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章TH511 半導(dǎo)體C-V特性分析儀簡介

      TH511 半導(dǎo)體C-V特性分析儀簡介

      更新時間:2023-08-08點擊次數(shù):1107
      • 簡介

      • TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計的分析儀器。

        儀器采用了一體化集成設(shè)計,二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù),單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。

        CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

        儀器設(shè)計頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達(dá)±40V,VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數(shù)功率器件測試。

        image.png

        功能特點

         

        A.一體化測試,集成度高、體積小、效率高

        一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件,將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi),操作更簡單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動化測試。

        B.單管器件測試,10.1寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無遺

        MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試,10.1寸大屏可同時將測量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時顯示,一目了然。

        一鍵測試單管器件器件時,無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù)、測量結(jié)果,大大提高了測試效率。

        image.png

        C.列表測試,多個、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示

        TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試,所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果。

        D.曲線掃描功能(選件)

        在MOSFET的參數(shù)中,CV特性曲線也是一個非常重要的指標(biāo),如下圖

        image.png

        TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描,可同時顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

        E.接觸檢查(Contact)功能,提前排除自動化測試隱患

        F.快速通斷測試(OP_SH),排除損壞器件

        在半導(dǎo)體器件特性測試時,由于半器件本身是損壞件,特別是多芯器件其中一個芯已經(jīng)損壞的情況下,測試雜散電容仍有可能被為合格,而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性。

        因此,對于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測試是沒有必要的,不僅僅浪費了測量時間,同時會由于C-V合格而混雜在良品里,導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來損失.

        TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。

        G.模組式器件設(shè)置,支持定制

        針對模組式器件如雙路(Dual)MOSFET、多組式IGBT,有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,常見模組式芯片Demo已內(nèi)置,特殊芯片支持定制.

        image.png

         

        H.簡單快捷設(shè)置

        I.10檔分選及可編程HANDLER接口

        J.支持定制化,智能固件升級方式

        同惠儀器對于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計,客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級方式更新。

        儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等,都可以通過升級固件(Firmware)來進(jìn)行更新,而無需返廠進(jìn)行。

        固件升級非常智能,可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包,并自動進(jìn)行升級

        image.png

        K.技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

        同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗積累,得以在產(chǎn)線、自動化測試等高速高精度測試場合,都能保證電容、電阻等測試精度。

        常規(guī)產(chǎn)線測試,提供標(biāo)準(zhǔn)0米測試夾具,直插器件可直接插入進(jìn)行測試,Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高

        image.png

        針對自動化測試,由于自動化設(shè)備測試工裝通常需要較長連接線,大多自動化設(shè)備生產(chǎn)商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差,為此,同惠設(shè)計了2米延長線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn),保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

        L.半導(dǎo)體元件寄生電容知識

        在高頻電路中,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性,所以在設(shè)計半導(dǎo)體元件時需要考慮下列因數(shù)

        在高頻電路設(shè)計中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例。

        M.標(biāo)配附件

        image.png

         

      • 應(yīng)用

      •  半導(dǎo)體元件/功率元件

        二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

        電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

         半導(dǎo)體材料

        晶圓切割、C-V特性分析

         液晶材料

        彈性常數(shù)分析

        電容元件

        電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析

      • 技術(shù)參數(shù)

      • 產(chǎn)品型號

         

        TH511

        TH512

        TH513

        通道數(shù)

         

        2(可選配4/6通道)

         

        1

        顯示

        顯示器

         

        10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

        比例

         

        16:9

        分辨率

         

        1280×RGB×800

        測量參數(shù)

         

        Ciss、Coss、Crss、Rg,四參數(shù)任意選擇

        測試頻率

        范圍

         

        1kHz-2MHz

        精度

         

        0.01%

        分辨率

         

        10mHz                 1.00000kHz-9.99999kHz

        100mHz               10.0000kHz-99.9999kHz

        1Hz                      100.000kHz-999.999kHz

        10Hz                    1.00000MHz-2.00000MHz

        測試電平

        電壓范圍

         

        5mVrms-2Vrms

        準(zhǔn)確度

         

        ±10%×設(shè)定值+2mV

        分辨率

         

        1mVrms               5mVrms-1Vrms

        10mVrms             1Vrms-2Vrms

        VGS電壓

        范圍

         

        0 - ±40V

        準(zhǔn)確度

         

        1%×設(shè)定電壓+8mV

        分辨率

         

        1mV               0V - ±10V

        10mV             ±10V -±40V

        VDS電壓

        范圍

         

        0 - ±200V

         

        0 - ±1500V

        0 - ±3000V

        準(zhǔn)確度

         

        1%×設(shè)定電壓+100mV

        輸出阻抗

         

        100Ω,±2%@1kHz

        數(shù)學(xué)運算

         

        與標(biāo)稱值的絕對偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%

        校準(zhǔn)功能

         

        開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD

        測量平均

         

        1-255

        AD轉(zhuǎn)換時間(ms/次)

         

        快速+0.56ms(5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms

        最高準(zhǔn)確度

         

        0.5%(具體參考說明書)

          Ciss、CossCrss

         

        0.00001pF - 9.99999F

        Rg

         

        0.001mΩ - 99.9999MΩ

        Δ%

         

        ±0.000% - 999.9%

        多功能參數(shù)列表掃描

        點數(shù)

         

        50點,每個點可設(shè)置平均數(shù),每個點可單獨分選

        參數(shù)

         

        測試頻率、VgVd、通道

        觸發(fā)模式

         

        順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點測量,/EOM/INDEX只輸出一次

        步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量,每點均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

        圖形掃描

        掃描點數(shù)

         

        任意點可選,最多1001

        結(jié)果顯示

         

        同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線

        顯示范圍

         

        實時自動、鎖定

        坐標(biāo)標(biāo)尺

         

        對數(shù)、線性

        掃描參數(shù)觸發(fā)方式

         

        Vg、Vd

        單次

        手動觸發(fā)一次,從起點到終點一次掃描完成,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描

        連續(xù)

        從起點到終點無限次循環(huán)掃描

        結(jié)果保存

         

        圖形、文件